美国质疑EUV光刻机已入华！ASML回怼：绝无可能！

一场围绕全球最尖端芯片制造设备的新争端正在华盛顿与荷兰之间发酵。

6月19日消息，据彭博社报道，美国商务部长霍华德·卢特尼克近期在一场闭门会谈中，向荷兰半导体设备巨头ASML的高级管理层表达了一项严峻关切，称该公司生产的极紫外（EUV）光刻机，可能已经违反美国主导的出口管制规定，流入了中国大陆。

知情人士透露，卢特尼克在今年4月的一场涵盖ASML对美投资承诺等多个议题的会议中，当面将这一担忧传达给了ASML首席执行官傅恪礼（Christophe Fouquet）等高管。ASML的EUV光刻系统是当前全球唯一能够制造7nm以下尖端半导体电路图案的设备，台积电、三星等巨头均依赖其生产苹果、英伟达的尖端处理器。自特朗普首个任期以来，ASML一直被禁止向中国出口此类尖端设备。

值得注意的是，这场紧张的闭门会议在公开层面被刻意淡化。事后，卢特尼克与傅恪礼均在社交媒体上以正面措辞形容会面，对EUV争议只字不提。然而，私下里ASML已进入“危机模式”。

ASML全力“自证清白”与反击

面对美方质疑，ASML坚决否认有任何EUV设备进入中国大陆。ASML公司发言人在一份声明中强调：“ASML从未向中国大陆发运过EUV机器，也从未向中国大陆发运过任何专门设计用于EUV机器的组件、模块或设备。”

为证明这是“不存在的事实”，ASML向美方提供了一份名为《没有任何迹象表明ASML EUV系统在中国大陆》的文件。文件指出，目前全球有314台EUV机器在运行，26台已退役，中国境内数量为零。

ASML还列举了技术上的不可能性：EUV机器体积如同一辆校车，重约180吨，产量有限，且需要ASML员工持续维护；机器内置自动检测系统，任何中断、异常行为或连接中断都能被追踪，未经ASML介入，客户无法自行移除、运输或搬迁系统。

ASML CEO傅恪礼在今年5月的一次采访中也表达了类似观点，称公司早已建立内部防火墙，ASML中国公司的员工（被划分在防火墙的一侧）无法接触EUV核心技术。他更从商业逻辑上质疑称，“你无法逆向工程一台你从未拥有的机器，而中国大陆没人拥有过它。”

美官员声称有证据，但拒绝公开

然而，多名不愿透露姓名的美国政府高级官员向彭博社表示，他们掌握的证据还显示，ASML向中国大陆出口了专门用于运输EUV机器的特殊设备以及可用于EUV系统的相关零部件，这表明ASML“并未诚信行事”。但这些官员以信息敏感性为由，多次拒绝提供证据，也拒绝说明是否掌握EUV系统已在中国境内的实质证据。

这种“有罪推定”式的指控让ASML陷入困境——它需要证明一件无法证明的“不存在之事”。彭博社向美方提问：若真有证据，为何政府不采取更强硬的政策或惩罚措施？美方官员拒绝回答。

此事件正值美欧贸易关系紧张之际，为欧洲市值最高的科技公司增添了巨大压力。荷兰外交部发言人表示，荷兰非常重视自身在半导体产业的“独特角色”，并“极其严格”地执行出口限制，必要时会进行干预。

这场争端也暴露了美国盟友间出口管制的差异。美国半导体设备制造商抱怨，荷兰和日本对华限制滞后于美国，使其处于竞争劣势。与此同时，美国国会两党法案正寻求进一步收紧对ASML等外国公司的限制，使其面临与美国公司同等级别的对华约束，包括有效禁止所有浸没式DUV光刻机的出口，这将严重影响ASML的预期营收。

编辑：芯智讯-浪客剑