蚀刻液(刻蚀液)是一种通过化学反应有选择性地去除材料表面特定部分的化学溶液,其核心功能是利用化学腐蚀作用,将未被抗蚀层(如光刻胶)保护的材料层溶解,从而形成所需的电路图形或雕刻图案。
核心成分组成:
1. 蚀刻主剂(氧化剂/腐蚀剂)
铜蚀刻体系:
酸性氯化铜体系、碱性氯化铜体系、氯化铁体系、硫酸/双氧水体系
硅/介质蚀刻体系:
氢氟酸(HF)、磷酸(H₃PO₄)、缓冲氧化物蚀刻剂(BOE)、KOH或TMAH类
金属蚀刻体系:
铝蚀刻剂(M2)、硝酸(HNO₃)类
2. 酸性/碱性介质
酸性介质、碱性介质
3. 添加剂
缓冲剂、表面活性剂、缓蚀剂、稳定剂、络合剂、催化剂等
4. 溶剂
去离子水