据《The Information》报道,中国正在推进自主研发深紫外(DUV)光刻机的生产,目标今年内生产约 5 台,2027 年提升至约 20 台。
DUV 光刻机是制造芯片的重要设备,目前全球市场主要由少数海外企业占据。近年来,在半导体供应链压力下,中国持续加大对光刻机、芯片设备等核心技术的研发投入。
不过,光刻机产业不仅要实现“造出来”,还需要在精度、稳定性和量产应用方面不断验证。国产 DUV 光刻机未来能否真正实现规模化应用,仍需要时间观察。
如果相关技术持续突破,将进一步提升中国芯片产业链的自主能力。