6T静电卡盘真空热压机技术参数

半导体静电卡盘真空热压机是一种结合静电吸附、高温加压与真空环境的先进制造工艺，广泛应用于半导体封装等领域。

鑫台铭专注于精密压装技术，致力于半导体静电卡盘真空热压贴合、流延生瓷片叠压、以及陶瓷机构件精密伺服粉末成型设备解决方案，获得实用新型、发明专利以及软著等近百项，实现国产替代进口设备水平，设备主要应用于静电卡盘、陶瓷粉末、生瓷片、加热盘、劈刀等配件加工，与国内多家客户长期合作。

真空热压机是一种集加热、保压、补压、抽真空、破真空于一体的热压机。整机采用伺服闭环控制系统，具有节能及低噪音的优点。设备精度高，采用伺服系统操控，压力稳定，效率高，成品率高，柔性加压，快速真空，慢速多段加压，多段加热。在PLC程序设置上，具有多段压力、多段行程的特点，特别适用于需要随时调整工艺的场景。其中多段压力多段行程，即：可根据产品工艺要求，进行多段压力和行程的自由设定，并且行程和压力的段数和顺序可以随时调整。采用热压技术，通过高温、高压将碳纤维和树脂基体复合，使其具有优异的力学性能和轻量化特点。加温方式采用导热油加热，温度可达200度，误差在3度以内，是一种通过PID智能调节进行温控的热压成型设备。该设备广泛适用于对新型复合材料的热压工艺，具有温度、压力、位移实时显示功能。

6T静电卡盘真空热压机技术参数

主缸锁模力：6000kg

主缸行程：150mm

主缸最大使用压力范围：600-6000kg

真空腔高度（使用高度）:150mm

活动梁与工作台距离：最大 150mm，最小 0mm

发热台面有效面积: 350*350

加热方式：电加热

加热温度：常温-200℃可控，温差±3℃

气源：0.6~0.7MPa

真空压力：-98Kpa以上；真空度≤-0.08mpa

合模方式：上顶式

6T静电卡盘真空热压机技术参数

上下加热板平面度：±0.02

上下加热板平行度：±0.03

位置重复精度：±0.01

分段压力/时间/行程：8段

压力控制方式：伺服电缸加压

工作流程：压力板在密闭的真空腔室内做上下压合（要求先抽真空再压合）

程序1：设定压装位置；温度；压力；时间------上下压板压装（保压模式）-----时间结束----停止加热（维持保压）----到达设定的冷却温度后，压力调整至0，然后程序结束（不断电，可随时继续操作）。

程序2：设定压装位置；加热温度和冷却温度；压力；运行时间和加热时间---真空罩下降----抽真空---上下压板压装（保压模式）-----抽真空停止，破真空-----加热时间结束后，停止加热，继续维持保压，真空罩上升（目的是快速冷却以缩短冷却时间）---到达设定的冷却温度后，压力调整至0，然后程序结束（不断电，可随时继续操作）。

6T静电卡盘真空热压机技术参数

设备特点：

1、设备：伺服压力机、热压成型机、真空热压机等。

2、压力：1T-500T，台面:350*350或530*530，开口和行程可以按照产品要求定制。

3、驱动：采用伺服电缸或者柱塞缸，高精度定位，运动平稳，具有受力均匀、可靠等优点。

4、高精度与可控性：可实时精确控制滑块位置、速度和压力，位置重复精度可达±0.01mm。

5、控制系统先进：控制系统元件精度高、可靠性好，抗干扰能力强、伺服系统响应速度快。

6、温度控制：采用PID算法，加热板温差+3℃，避免材料过热或固化不均。

7、PLC控制：可编程，对行程、压力、温度、真空度、分段时间的参数设置。

8、应用：工艺适应性广，可配抽真空、机械手、半自动进出料、定位等装置。

6T静电卡盘真空热压机技术参数

核心参数

真空度：≤10-3Pa（1 分钟内可达 20Torr）。

温度范围：常规 80–200℃。

压力范围：1–500T（10–50MPa），压力均匀性偏差 < 2%。

控温精度：±1–±3℃，热场均匀性 < 1%。

尺寸精度：厚度控制≤0.02mm，平面度≤0.03mm，平行度≤0.05mm。

控制：PLC + 伺服闭环，支持 8–16 段工艺参数编程。

压力范围：1吨至500吨可调。

工作台面：常见规格如350mm×350mm或530mm×530mm，也可定制。

温度控制：最高工作温度可达200℃-300℃，采用PID算法，温差可控制在±3℃以内。

真空度：极限真空度可达10?3 Pa，工作真空度≤50 Pa。

控制精度：采用伺服系统，位置重复精度可达±0.01mm。

6T静电卡盘真空热压机技术参数

设备优势

高精度：满足 7nm 以下先进制程对 ESC 的微米 / 纳米级精度要求。

高良率：真空无氧化、应力可控，良率达99% 以上。

高效节能：伺服系统能耗较传统设备降低60%，工艺周期缩短25%。

国产替代：核心技术突破，性能对标进口设备，成本降低30%+。

主要应用：半导体、芯片、新能源、精密光学、高端3C行业。如半导体芯片封装、晶圆键合，碳化硅、陶瓷散热片贴合，柔性屏、光学膜精密贴合，新能源IGBT功率模块热压固化，高端精密盖板、薄片无痕压合等。

6T静电卡盘真空热压机技术参数